共同研究・競争的資金等の研究課題

2018年 - 2020年

HiPIMSプラズマのイオン輸送挙動に基づく炭窒化ホウ素膜形成機構の解明

日本学術振興会  科学研究費助成事業 国際共同研究加速基金(国際共同研究強化)  国際共同研究加速基金(国際共同研究強化)

課題番号
17KK0136
体系的課題番号
JP17KK0136
配分額
(総額)
14,170,000円
(直接経費)
10,900,000円
(間接経費)
3,270,000円

炭窒化ホウ素(BCN)膜の超高靱性化に向けたHiPIMSプロセス設計指針の構築を図るため、本国際共同研究により、イオン質量分析計によるイオン流束・エネルギー分布に関する系統的な検証が進められ、基板に入射するイオン流束に及ぼす影響因子を明らかにした。その結果入射イオン種の選択性により蒸着粒子あたりの変換運動量の制御性が確認され、これらがBCN膜成長における核形成挙動に大きく影響を及ぼすことを示した。

リンク情報
URL
https://kaken.nii.ac.jp/file/KAKENHI-PROJECT-17KK0136/17KK0136seika.pdf
KAKEN
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17KK0136
ID情報
  • 課題番号 : 17KK0136
  • 体系的課題番号 : JP17KK0136