2018年 - 2020年
HiPIMSプラズマのイオン輸送挙動に基づく炭窒化ホウ素膜形成機構の解明
日本学術振興会 科学研究費助成事業 国際共同研究加速基金(国際共同研究強化) 国際共同研究加速基金(国際共同研究強化)
炭窒化ホウ素(BCN)膜の超高靱性化に向けたHiPIMSプロセス設計指針の構築を図るため、本国際共同研究により、イオン質量分析計によるイオン流束・エネルギー分布に関する系統的な検証が進められ、基板に入射するイオン流束に及ぼす影響因子を明らかにした。その結果入射イオン種の選択性により蒸着粒子あたりの変換運動量の制御性が確認され、これらがBCN膜成長における核形成挙動に大きく影響を及ぼすことを示した。
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- 課題番号 : 17KK0136
- 体系的課題番号 : JP17KK0136