産業財産権

特許権

ドライエッチング方法及びその方法を用いて作製されたフォトニック結晶素子

日本航空電子工業株式会社
  • 鈴木 晃子
    • ,
  • 佐藤 明伸
    • ,
  • ブーレル エマニュエル
    • ,
  • 松尾 二郎
    • ,
  • 瀬木 利夫
    • ,
  • 青木 学聡
出願番号
特願2003-416438
出願日
2003年12月15日
公開番号
特開2005-175369
公開日
2005年6月30日
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903041500013692
ID情報
  • J-Global ID : 200903041500013692
産業財産権リストへ