特許権
ガスクラスターイオンビームによる固体表面の平坦化方法および固体表面平坦化装置
日本航空電子工業株式会社
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- 出願番号
- 特願2012-020898
- 出願日
- 2012年2月2日
- 公開番号
- 特開2012-124512
- 公開日
- 2012年6月28日
- ID情報
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- J-Global ID : 201203056190185946
瀬木 利夫
セキ トシオ (Toshio Seki)
更新日: 02/01