MISC

2007年

Ionization and low damage etching of soft materials with slow Ar cluster ions

Extended Abstracts of 8th Workshop on Cluster Ion Beam Technology
  • Satoshi Ninomiya
    • ,
  • Kazuya Ichiki
    • ,
  • Yoshihiko Nakata
    • ,
  • Yoshiro Honda
    • ,
  • Toshio Seki
    • ,
  • Takaaki Aoki
    • ,
  • Jiro Matsuo
開始ページ
41
終了ページ
46
記述言語
英語
掲載種別
研究発表ペーパー・要旨（国際会議）
エクスポート
BibTeX RIS
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