講演・口頭発表等

国際会議
2006年7月21日

Surface oxidation of Si assisted by irradiation with large gas cluster ion beam in an oxygen atmosphere

22th International Conference on Atomic Collisions in Solids
  • ?? Kazuya Ichiki
    • ,
  • Satoshi Ninomiya
    • ,
  • Toshio Seki
    • ,
  • Takaaki Aoki
    • ,
  • Jiro Matsuo
記述言語
英語
会議種別
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