講演・口頭発表等

国際会議
2007年6月8日

MD Study of Damage Structure with Poly-atomic Boron Cluster Implantation

7th International Workshop on Junction Technology
  • ?? J. Matsuo
    • ,
  • S. Ninomiya
    • ,
  • K. Ichiki
    • ,
  • Y. Nakata
    • ,
  • T. Aoki
    • ,
  • T. Seki
記述言語
英語
会議種別
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