講演・口頭発表等

国際会議
2009年9月16日

Etching of Metallic Materials with Cl2 Gas Cluster Ion Beam

16th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB2009)
  • T. Seki
    • ,
  • T. Aoki
    • ,
  • J. Matsuo
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表
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