講演・口頭発表等

国際会議
2011年9月22日

Ion-induced damage evaluation with Ar cluster ion beams

18th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS XVIII)
  • Y. Yamamoto
  • ,
  • K. Ichiki
  • ,
  • T. Seki
  • ,
  • T. Aoki
  • ,
  • J. Matsuo

記述言語
英語
会議種別
ポスター発表