論文

2006年3月

Surface cleaning and modification of Si(100) substrates by ethanol and water cluster ion beams

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
  • GH Takaoka
    • ,
  • H Noguchi
    • ,
  • K Nakayama
    • ,
  • T Seki
    • ,
  • M Kawashita
巻
77
号
3
開始ページ
03B508
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.1063/1.2172342
出版者・発行元
AMER INST PHYSICS
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1063/1.2172342
ID情報
  • DOI : 10.1063/1.2172342
  • ISSN : 0034-6748
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