論文

査読有り
2017年5月

Fabrication of a Si lever structure made by double-angled etching with reactive gas cluster injection

APPLIED PHYSICS LETTERS
  • T. Seki
    • ,
  • H. Yamamoto
    • ,
  • T. Kozawa
    • ,
  • K. Koike
    • ,
  • T. Aoki
    • ,
  • J. Matsuo
巻
110
号
18
開始ページ
182105
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.1063/1.4982970
出版者・発行元
AMER INST PHYSICS
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1063/1.4982970
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000400931900032&DestApp=WOS_CPL
ID情報
  • DOI : 10.1063/1.4982970
  • ISSN : 0003-6951
  • ORCIDのPut Code : 50030331
  • Web of Science ID : WOS:000400931900032
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