2010年 - 2012年
多機能複合クラスタービームを用いた新規ナノ材料創成・加工技術基盤の開発
日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B) 若手研究(B)
- 課題番号
- 22760557
- 体系的課題番号
- JP22760557
- 担当区分
- 研究代表者
- 配分額
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- (総額)
- 4,030,000円
- (直接経費)
- 3,100,000円
- (間接経費)
- 930,000円
- 資金種別
- 競争的資金
常温常圧における物質の態を問わず混合した複合クラスターを生成するための複合クラスター形成装置を開発し、液体(メタノール、水、α-トリクロロエタン)・気体(Ar)複合クラスターを生成できることを示した。生成した CH3OH-Ar 複合クラスターの Si 基板への照射により放出された二次イオンを評価した結果、二次イオン強度が Ar クラスター照射の場合に比べて約1桁高く、 CH3OH-Ar 複合クラスターが二次イオン質量分析用一次ビームとして有効であることを示した。
- リンク情報
- ID情報
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- 課題番号 : 22760557
- 体系的課題番号 : JP22760557