特許権 窒化物半導体基板及びその製造方法 国立大学法人豊橋技術科学大学 若原 昭浩 出願番号 特願2003-295341 出願日 2003年8月19日 公開番号 特開2005-060195 公開日 2005年3月10日 特許番号/登録番号 特許第3890416号 登録日 2006年12月15日 発行日 2006年12月15日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103077232576029 ID情報 J-Global ID : 201103077232576029