特許権 集束イオンビーム装置 国立大学法人北海道大学, 日本電子株式会社 圦本 尚義, 坂口 清志 出願番号 特願2009-216413 出願日 2009年9月18日 公開番号 特開2011-065904 公開日 2011年3月31日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201103049084994947 ID情報 J-Global ID : 201103049084994947