層状金属カルコゲナイドは表面にダングリングボンドを持たず、さまざまな物性と仕事関数を持つ物質であるため、ナノ構造化によりデバイス応用が期待される。本発表では、我々が行っている流路分離型CVD成長による成長制御と、CNT等との複合材料化について報告する。