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2018年5月18日

バッフル板付きチタン電極によるAr/N2混合ガス環境下での反応性直流マグネトロンスパッタリング (放電プラズマ・パルスパワー合同研究会プラズマ・パルスパワー・放電一般)

電気学会研究会資料. ED = The papers of technical meeting on electrical discharges, IEE Japan

東欣吾
三好邦明
田中尊士
岡好浩

巻: 2018
号: 27
開始ページ: 55
終了ページ: 58
記述言語: 日本語
掲載種別
出版者・発行元: 電気学会

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201802233775172535
CiNii Books: http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN10320559
CiNii Research: https://cir.nii.ac.jp/crid/1570291229525107200?lang=ja
URL: http://id.ndl.go.jp/bib/029089864

ID情報

J-Global ID : 201802233775172535
CiNii Articles ID : 40021589422
CiNii Books ID : AN10320559
CiNii Research ID : 1570291229525107200

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