霜垣幸浩 (Yukihiro Shimogaki) - マイポータル

基本情報

所属: 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授

学位: 博士(工学)(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901083855590507
researchmap会員ID: 1000185310

外部リンク: http://www.dpe.mm.t.u-tokyo.ac.jp

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論文

201

Theoretical study on gas‐phase reactions during chemical vapor deposition of Ti_xAl_1–xN from TiCl₄, AlCl₃, and NH₃

Noboru Sato, Jun Yamaguchi, Masahiro Koto, Hayato Kubo, Takanori Sugiyama, Takahito Tanibuchi, Momoko Deura, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

International Journal of Chemical Kinetics 2024年7月9日
Atomic Layer Deposition of Cobalt Film from Dicobalt-hexacarbonyl-tert-butylacetylene and Hydrogen

Jun Yamaguchi, Noboru Sato, Atsuhiro Tsukune, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

ECS Journal of Solid State Science and Technology 12(11) 114003-114003 2023年11月1日
Effect of layer structure of AlN interlayer on the strain in GaN layers during metal-organic vapor phase epitaxy on Si substrates

Momoko Deura, Takuya Nakahara, Wan Chi Lee, Takeshi Momose, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki

Journal of Applied Physics 133(16) 2023年4月
Kinetic Study on Heterogeneous Nucleation and Incubation Period during Chemical Vapor Deposition

Kohei Shima, Yuhei Otaka, Noboru Sato, Yuichi Funato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

The Journal of Chemical Physics 158 124704-1-12 2023年3月査読有り
Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides

Yuyuan Huang, Momoko DEURA, Yusuke Shimoyama, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose

Applied Physics Express 2022年5月25日
Suitability of metallic materials for constructing metal-coated dielectric terahertz waveguides

Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose

Journal of Applied Physics 131(10) 105106-105106 2022年3月14日
Identifying the mechanism of formation of chlorinated silane polymer by-products during chemical vapor infiltration of SiC from CH₃SiCl₃/H₂

N. Sato, Y. Fukushima, K. Shima, Y. Funato, T. Momose, M. Koshi, Y. Shimogaki

International Journal of Chemical Kinetics 54 300-308 2022年1月査読有り
Conformal and Stoichiometric Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide onto Ultradeep Heterogeneous Micropores by Controlling the Initial Nucleation Stage

Kohei Shima, Yuhei Otaka, Noboru Sato, Yuichi Funato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

ACS Applied Materials & Interfaces 13(44) 53009-53020 2021年11月10日
Development of a model for evaluating propagation loss of metal-coated dielectric terahertz waveguides

Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose

Journal of Applied Physics 130(5) 055104-055104 2021年8月7日
Kinetic analysis of face-centered-cubic Ti1−Al N film deposition by chemical vapor deposition

Momoko Deura, Hiroki Sato, Jun Yamaguchi, Tomoko Hirabaru, Hayato Kubo, Takeshi Momose, Takahito Tanibuchi, Yukihiro Shimogaki

Materials Science and Engineering: B 264 114992-114992 2021年2月
Elementary gas‐phase reactions of radical species during chemical vapor deposition of silicon carbide using CH 3 SiCl 3

Noboru Sato, Yuichi Funato, Kohei Shima, Hidetoshi Sugiura, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Mitsuo Koshi, Yukihiro Shimogaki

International Journal of Chemical Kinetics 2021年1月11日
Physical model for evaluating propagation loss of metal-coated dielectric terahertz waveguides

Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose

International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2021-August 2021年
Supercritical fluid deposition technique enabling metallic coating onto 3D-printed polymer for fabrication of high-aspect-ratio THz devices

Takeshi Momose, Kuniaki Konishi, Yu Zhao, Hirotaka Morishita, Tetsuya Tsuchida, Yuyuan Huang, Hiroyuki Yasukochi, Kentaro Soeda, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama …

International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2020-November 644-645 2020年11月8日
Material evaluation for inner metallic coating of hollow dielectric THz waveguides

Yuyuan Huang, Kuniaki Konishi, Momoko Deura, Yusuke Shimoyama, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami, Yukihiro Shimogaki, Takeshi Momose

International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2020-November 420-421 2020年11月8日
Porous Membranes as Sacrificial Layers Enabling Conformal Chemical Vapor Deposition Involving Multiple Film-Forming Species

Kohei Shima, Yuichi Funato, Noboru Sato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

ACS Applied Materials & Interfaces 2020年10月30日
Modeling of the elementary gas-phase reaction during chemical vapor deposition of silicon carbide from CH<inf>3</inf>SiCl<inf>3</inf>/H<inf>2</inf>

Noboru Sato, Yuichi Funato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Mitsuo Koshi, Yukihiro Shimogaki

International Journal of Chemical Kinetics 52(6) 359-367 2020年6月1日
Hot-wire-assisted atomic layer deposition of high-quality Ru thin films in the absence of oxidization

Guangjie Yuan, Hideharu Shimizu, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

ECS Journal of Solid State Science and Technology 9(2) 2020年1月17日
Identification of Film-Forming Species during SiC-CVD of CH3SiCl3/H2 by Exploiting Deep Microtrenches

Kohei Shima, Noboru Sato, Yuichi Funato, Yasuyuki Fukushima, Takeshi Momose, Yukihiro Shimogaki

ECS Journal of Solid State Science and Technology 8 P423-P429 2019年7月査読有り
Strain control of GaN grown on Si substrates using an AlGaN interlayer

Momoko Deura, Takuya Nakahara, Takeshi Momose, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki

Journal of Crystal Growth 514 65-69 2019年5月15日
Strain control of GaN grown on Si substrates using an AlGaN interlayer

Momoko Deura, Takuya Nakahara, Takeshi Momose, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama, Yukihiro Shimogaki

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH 514 65-69 2019年5月

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MISC

453

高下地選択性Co-ALDプロセス設計のための可視光反射率その場観察手法の構築

木村俊介, 山口潤, 佐藤登, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 88th 2023年
理論的検討に基づいたSiC-CVIプロセスにおける表面反応モデルの改良

佐藤登, 木村俊介, 大高雄平, 脇山知也, 福島康之, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 88th 2023年
超臨界流体薄膜堆積法を用いた誘電体上の低抵抗率銅薄膜形成に向けた前処理条件の検討

中嶋佑介, HUANG Yuyuan, 霜垣幸浩, 百瀬健

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 88th 2023年
タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価

百瀬健, KIM Taewoong, DENG Yubin, 出浦桃子, 松尾明, 山口述夫, 霜垣幸浩

電子情報通信学会技術研究報告(Web) 121(366(SDM2021 74-79)) 2022年
SiC/Si基板上に成長した窒化物半導体層内ボイドの形成メカニズム

奥友則, 百瀬健, 霜垣幸浩, 出浦桃子

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
Co-ALDプロセスにおける原料の比較検討

山口潤, 佐藤登, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 87th 2022年
MTS/H₂を原料としたSiC-CVIにおけるSiCl₄添加による微細構造内製膜均一化の原因考察

大高雄平, 木村俊介, 佐藤登, 福島康之, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 87th 2022年
理論的検討に基づいたTiAlN-CVDプロセスの表面反応モデル構築

佐藤登, 古藤雅大, 久保隼人, 杉山貴悟, 出浦桃子, 百瀬健, 谷渕栄仁, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 87th 2022年
超臨界流体薄膜堆積法により作製したTiO₂の光触媒活性決定要因

安治遼祐, 中嶋佑介, 出浦桃子, 下山裕介, 霜垣幸浩, 百瀬健

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 87th 2022年
COSMO-SAC法による金属錯体の蒸気圧予測の検討

佐藤登, 山口潤, 呉宇軒, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 53rd 2022年
CCTBAを用いたCo-ALDプロセスの検討

山口潤, 佐藤登, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 53rd 2022年
SiC-CVI法における高濃度水素供給を利用した高速含浸条件の検討

木村俊介, 大高雄平, 佐藤登, 福島康之, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 53rd 2022年
高アスペクト比構造へのCu-SCFDプロセス最適設計に向けたCu(tmhd)2のscCO2への溶解度と拡散係数の測定

師井滉平, HUANG Yuyuan, 出浦桃子, 下山裕介, 霜垣幸浩, 百瀬健

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 53rd 2022年
塩素フリーSiC-CVIにおける粉体抑制・均一埋め込みに向けたプロセス検討

根東佳史, 安治遼祐, 大高雄平, 佐藤登, 福島康之, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 86th 2021年
MTS/H₂を原料としたSiC-CVIにおける擬0次反応と犠牲層を併用したトレンチ内均一製膜

大高雄平, 根東佳史, 佐藤登, 福島康之, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 86th 2021年
理論的検討に基づいたSiC-CVIプロセスにおける炭素種の表面反応モデル構築

佐藤登, 根藤佳史, 大高雄平, 福島康之, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 86th 2021年
超臨界流体薄膜堆積法による光触媒TiO₂の作製

安治遼祐, 佐藤将太, 出浦桃子, 霜垣幸浩, 百瀬健

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 86th 2021年
非線形表面反応速度論における化学蒸着のためのマルチスケールシミュレーションフレームワーク【JST・京大機械翻訳】

ZHANG Jin, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会年会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 86th 2021年
多結晶SiC-CVDプロセス設計を目指した総括反応モデルの構築と検証

師井滉平, 奥友則, 出浦桃子, 百瀬健, 霜垣幸浩

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 52nd 2021年
超臨界流体薄膜堆積法で作製した酸化チタンの光触媒活性と結晶性への添加物の効果

安治遼祐, 出浦桃子, 下山裕介, 霜垣幸浩, 百瀬健

化学工学会秋季大会研究発表講演要旨集(CD-ROM) 52nd 2021年

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所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

超臨界流体を利用したナノキャパシタ構造形成プロセスの構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2010年 - 2012年

霜垣幸浩, 百瀬健
超臨界流体を利用したULSIカーボンナノチューブ配線用ナノ触媒粒子の高密度合成

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2007年 - 2007年

霜垣幸浩
高信頼性ULSI多層配線形成CVDプロセスの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2004年 - 2006年

霜垣幸浩, 趙斌
面積選択MOCVDを活用したInGaAsP化合物半導体結晶成長機構の解析とマイクロレーザアレイの作製

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2005年 - 2005年

霜垣幸浩, 宋海政
半導体デジタル全光デバイス・集積回路の研究開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2002年 - 2004年

中野義昭, 杉山正和, 清水大雅, 霜垣幸浩
超機能化グローバル・インターフェース・インテグレーション研究

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2000年 - 2004年

堀池靖浩, 財満鎭明, 霜垣幸浩, 角南英夫, 益一哉, 岩井洋
変調操作CVD法による薄膜形成における初期核発生・成長過程の制御

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2001年 - 2003年

霜垣幸浩
半導体レーザに基づく新しい波長多重光機能デバイス

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2000年 - 2001年

中野義昭, 加藤正樹, 霜垣幸浩
電気自動車搭載を目的とした固体電解質型燃料電池の高効率化と小型化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1998年 - 2001年

伊原学, 熊谷昭文, 霜垣幸浩
選択MOVPEによる結晶成長制御手法の確立とモノリシック光集積回路作製への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1999年 - 2000年

霜垣幸浩, 中野義昭
変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1999年 - 2000年

霜垣幸浩, 大場隆之, 濱村浩孝
エリプソメトリー、FT-IRを利用したInGaAsP CVDプロセスの解析

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 1999年 - 1999年

霜垣幸浩, FERON O.
光情報通信基盤構築に向けた変形ポテンシャル量子マイクロ構造光制御デバイスの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1997年 - 1998年

多田邦雄, 荒川太郎, 霜垣幸浩, 中野義昭, 村井徹
半導体モノリシック光集積回路のための面積選択有機金属気相エピタキシ

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1997年 - 1998年

中野義昭, 霜垣幸浩
光情報通信基盤構築へ向けた極限性能半導体レーザの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 1996年 - 1997年

多田邦雄, 平田隆昭, 霜垣幸浩, 中野義昭
ECR-RIBEによる化合物半導体エッチングプロセスの反応工学的解析

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1996年 - 1996年

霜垣幸浩
変形ポテンシャル量子マイクロ構造の光物性と光制御デバイスへの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1995年 - 1996年

多田邦雄, 村井徹, 霜垣幸浩, 中野義昭
利得結合分布帰還型半導体レーザの共同研究

日本学術振興会科学研究費助成事業国際学術研究 1995年 - 1996年

多田邦雄, 須藤剣, モルティエルヘールト, 霜垣幸浩, 中野義昭, バーツルル, 羅毅, コルドレンラリー, ラガッセポール, コンドレンラリー
酸化物薄膜のCVD合成及びエッチングプロセスの反応工学的解析と低誘導率化

日本学術振興会科学研究費助成事業奨励研究(A) 1995年 - 1995年

霜垣幸浩
CVD製膜における微小温度勾配が製膜速度と物性に及ぼす効果

日本学術振興会科学研究費助成事業重点領域研究 1995年 - 1995年

霜垣幸浩, 江頭靖幸

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