特許権 被加工物自転型ワイヤソー及びウェハ製造方法 鳥取大学長,株式会社瀧澤鐵工所 小幡文雄, 坂本智, 松原潤治 出願番号 特願平10-310529 出願日 1998年10月30日 公開番号 特開2000-135663 公開日 2000年5月16日