特許権 プラズマ生成装置及び方法 国立大学法人 琉球大学, 国立大学法人佐賀大学 米須 章, 林 信哉 出願番号 特願2010-505962 出願日 2009年3月31日 特許番号/登録番号 特許第5463573号 登録日 発行日 2014年1月31日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201403055505933006URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201403055505933006 ID情報 J-Global ID : 201403055505933006