2015年
バックゲート表面電位固定構造を用いた 完全空乏化SOIピクセル検出器の性能評価
情報センシング研究会(IST)
- 巻
- 39
- 号
- 35(IST2015 43-56)
- 開始ページ
- 37
- 終了ページ
- 40
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.11485/itetr.39.35.0_37
- 出版者・発行元
- 一般社団法人 映像情報メディア学会
本稿では、バックゲート正面電位固構造を用いた新しい定完全空乏化SOIピクセル検出器を提案する。提案する検出器ではSOI層の回路動作を安定的に保ちながら、変換ゲインを高めることができる。また、2重ドーピング技術はバックゲート表面付近でのホールに対するポテンシャルバリアを形成し、裏面電圧の変動に対して安定性を高めることができる。提案するピクセル検出器の構造のポテンシャル分布のシミュレーション結果、測定結果を報告する。
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.11485/itetr.39.35.0_37
- ISSN : 1342-6893
- eISSN : 2424-1970
- J-Global ID : 201502204066326971
- CiNii Articles ID : 130006090798
- CiNii Books ID : AN1059086X
- CiNii Research ID : 1390282679505162240