特許権 研磨パッド、並びに電解複合研磨装置及び電解複合研磨方法 株式会社荏原製作所 福田 明, 王 新明, 鈴木 作, 小寺 章, 當間 康, 檜山 浩國 出願番号 特願2008-150539 出願日 2008年6月9日 公開番号 特開2009-295914 公開日 2009年12月17日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903072980718782 ID情報 J-Global ID : 200903072980718782