産業財産権

特許権

研磨パッド、並びに電解複合研磨装置及び電解複合研磨方法

株式会社荏原製作所
  • 福田 明
  • ,
  • 王 新明
  • ,
  • 鈴木 作
  • ,
  • 小寺 章
  • ,
  • 當間 康
  • ,
  • 檜山 浩國

出願番号
特願2008-150539
出願日
2008年6月9日
公開番号
特開2009-295914
公開日
2009年12月17日

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903072980718782
ID情報
  • J-Global ID : 200903072980718782