特許権
ビーム源及びビーム処理装置
株式会社荏原製作所, 国立大学法人東北大学
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- 出願番号
- 特願2003-071072
- 出願日
- 2003年3月14日
- 公開番号
- 特開2004-281231
- 公開日
- 2004年10月7日
- 特許番号/登録番号
- 特許第4101089号
- 登録日
- 発行日
- 2008年3月28日
- ID情報
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- J-Global ID : 201103044244748911