2023年2月
特集 砥石や研磨パッドの成形とその効果 CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係
砥粒加工学会誌
- 巻
- 67
- 号
- 2
- 開始ページ
- 79
- 終了ページ
- 82
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 記事・総説・解説・論説等（学術雑誌）
- リンク情報
-
- 共同研究・競争的資金等の研究課題
- ミクロなスラリー循環流れの制御および好適化による研磨能率の向上
- 共同研究・競争的資金等の研究課題
- ミクロスケール・スラリー流れ可視化観察による研磨メカニズムの解明