2014年9月1日 CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化 精密工学会大会学術講演会講演論文集 御手洗真人, 福田明 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 共同研究・競争的資金等の研究課題CMPにおけるウェーハと研磨パッドとの間のスラリー流れに関する研究URLhttps://www.jstage.jst.go.jp/article/pscjspe/2014A/0/2014A_47/_pdf