論文

査読有り

2017年2月

研磨パッド・アスペリティ内スラリー流れの可視化方法の検討

精密工学会誌

福田明
御手洗真人

巻: 83
号: 2
開始ページ: 173
終了ページ: 179
記述言語: 日本語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.2493/jjspe.83.173

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.2493/jjspe.83.173
共同研究・競争的資金等の研究課題: ミクロスケール・スラリー流れ可視化観察による研磨メカニズムの解明
共同研究・競争的資金等の研究課題: CMPにおけるウェーハと研磨パッドとの間のスラリー流れに関する研究
URL: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/83/2/83_173/_article/-char/ja/

ID情報

DOI : 10.2493/jjspe.83.173

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