基本情報

所属
国立研究開発法人物質・材料研究機構 技術開発・共用部門 材料データプラットフォーム データ収集ユニット 主任エンジニア
学位
博士(工学)(2013年 京都大学)

研究者番号
40836623
ORCID ID
 https://orcid.org/0000-0001-5989-027X
J-GLOBAL ID
201101062510776790
Researcher ID
L-3218-2013
researchmap会員ID
6000030154

外部リンク

物質・材料研究機構 (NIMS) 技術開発・共用部門において材料データプラットフォームDICEに携わっているエンジニア。材料データベースMatNavi、材料メタデータを記述するための材料語彙管理システムMatVocなどを担当。

京都大学航空宇宙工学専攻で半導体材料をプラズマエッチング加工した際のダメージ光学測定を研究、2013年博士 (工学)。2013年より米国立標準技術研究所 (NIST) で半導体デバイス信頼性について研究。2015年よりNIMSポスドク研究員としてワイドギャップ半導体研究やデータ収集システムの開発に従事。2018年よりNIMS統合型材料開発・情報基盤部門エンジニアとして材料データリポジトリ (MDR) などを担当。2023年より現所属。


経歴

  8

主要な論文

  30

MISC

  1

書籍等出版物

  1
  • 中久保義則, 松田朝彦, 亀井政幸, 太田裕朗, 江利口浩二, 斧高一 (担当:共著, 範囲:Chapter 8: Analysis of Si Substrate Damage Induced by Inductively Coupled Plasma Reactor with Various Superposed Bias Frequencies)
    Springer 2010年 (ISBN: 9789048193783)

主要な講演・口頭発表等

  86

所属学協会

  5

Works(作品等)

  1
  • 石井 真史, 長尾 浩子, 田辺 浩介, 松田 朝彦, 吉川 英樹
    2021年7月21日 - 2023年6月19日 データベース

共同研究・競争的資金等の研究課題

  1

学術貢献活動

  3

社会貢献活動

  6