松田 朝彦

• 2015年11月

  DPS論文賞, Effects of straggling of incident ions on plasma-induced damage creation in "fin"-type field-effect transistors, 第37回ドライプロセス国際シンポジウム 

  江利口浩二, 松田朝彦, 鷹尾祥典, 斧高一
• 2014年5月

  樫の若木賞, 公益財団法人樫の芽会 

  松田 朝彦
• 2011年11月

  若手研究者賞, Advanced contactless analysis of plasma-induced damage on Si by temperature-controlled photoreflectance spectroscopy, 第32回ドライプロセス国際シンポジウム 

  松田朝彦
• 2011年8月

  優秀論文賞, Model for Bias Frequency Effects on Plasma-Damaged Layer Formation in Si Substrates, 応用物理学会 

  江利口浩二, 中久保義則, 松田朝彦, 鷹尾祥典, 斧高一
• 2010年11月

  最優秀論文賞, Threshold Voltage Instability Induced by Plasma Process Damage in Advanced MOSFETs, 第31回ドライプロセス国際シンポジウム 

  江利口浩二, 中久保義則, 松田朝彦, 鷹尾祥典, 斧高一