書籍等出版物

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  • 中久保義則, 松田朝彦, 亀井政幸, 太田裕朗, 江利口浩二, 斧高一 (担当:共著, 範囲:Chapter 8: Analysis of Si Substrate Damage Induced by Inductively Coupled Plasma Reactor with Various Superposed Bias Frequencies)
    Springer 2010年 (ISBN: 9789048193783)
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