2010年
Emerging Technologies and Circuits
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- 担当区分
- 共著
- 担当範囲
- Chapter 8: Analysis of Si Substrate Damage Induced by Inductively Coupled Plasma Reactor with Various Superposed Bias Frequencies
- 出版者・発行元
- Springer
- 総ページ数
- 担当ページ
- 107-120
- 記述言語
- 英語
- 著書種別
- DOI
- 10.1007/978-90-481-9379-0_8
- ISBN
- 9789048193783
- ID情報
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- DOI : 10.1007/978-90-481-9379-0_8
- ISBN : 9789048193783