論文

2020年

Maskless patterning of gallium-irradiated superconducting silicon using focused ion beam

ACS Applied Electronic Materials

Matsumoto, R.
Adachi, S.
Sadki, E.H.S.
Yamamoto, S.
Tanaka, H.
Takeya, H.
Takano, Y.

巻: 2
号: 3
記述言語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1021/acsaelm.9b00781

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1021/acsaelm.9b00781
URL: http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85093537392&partnerID=MN8TOARS

ID情報

DOI : 10.1021/acsaelm.9b00781
ISSN : 2637-6113
ORCIDのPut Code : 96680062
SCOPUS ID : 85093537392

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