松田晃史 (Akifumi Matsuda) - マイポータル

基本情報

所属: 東京工業大学物質理工学院准教授

学位: 博士（工学）(東京工業大学)

J-GLOBAL ID: 201701015293744791
researchmap会員ID: B000273879

外部リンク: https://matsuda.mat.mac.titech.ac.jp/

所属学会等：日本セラミックス協会、応用物理学会、Materials Research Society (米国材料学会)、電気学会、日本熱電学会

研究キーワード

研究分野

経歴

2024年10月 - 現在

東京科学大学, 物質理工学院, 准教授
2022年4月 - 2024年9月

東京工業大学, 物質理工学院, 准教授
2016年4月 - 2022年3月

東京工業大学, 物質理工学院材料系, 講師
2015年3月 - 2016年3月

東京工業大学, 総合理工学研究科物質科学創造専攻, 講師
2011年9月 - 2015年2月

東京工業大学, 総合理工学研究科物質科学創造専攻, 助教
2008年4月 - 2011年8月

株式会社日立製作所, 研究開発本部日立研究所, 研究員

学歴

2005年4月 - 2008年3月

東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 物質科学創造専攻博士後期課程
2003年4月 - 2005年3月

東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 物質科学創造専攻修士課程
2000年4月 - 2003年3月

東京工業大学, 工学部, 無機材料工学科
1999年4月 - 2000年3月

東京工業大学, 工学部, 第2類

委員歴

受賞

論文

Modification of surface structural and electrical properties of epitaxial NiO (111) films by vacuum-ultraviolet light irradiation

Kenta Kaneko, Yuchi Qiao, Satoru Kaneko, Momoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda

Applied Surface Science 689 162405-162405 2025年4月査読有り最終著者責任著者
Selective phase growth of ultra-smooth Ti2O3 and TiO2 thin films at low growth temperature controlled by the oxygen partial pressure

Jiayi Tang, Okkyun Seo, Jaemyung Kim, Ibrahima Gueye, L.S.R. Kumara, Ho Jun Oh, Wan-Gil Jung, Won-Jin Moon, Yong Tae Kim, Satoshi Yasuno …

Applied Surface Science Advances 26 100706-100706 2025年3月査読有り
Vacuum Ultraviolet-Enhanced Topotactic Phase Transition and Physical Properties at the Surface of Cobalt Oxide Epitaxial Thin Films

Kenta Kaneko, Yuchi Qiao, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda

The Journal of Physical Chemistry C 129(6) 3264-3271 2025年2月3日査読有り最終著者責任著者
Surface patterning of wide-gap semiconducting β-Ga₂O₃ thin films by area selective crystallization via room-temperature excimer laser annealing and low-toxic wet etching processes

Daishi Shiojiri, Ryoya Kai, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Applied Physics Express 18(1) 015501-015501 2025年1月27日査読有り
Effect of vacuum-ultraviolet irradiation on structure and resistivity of epitaxial copper oxide thin films

Yuchi Qiao, Kenta Kaneko, Itsuki Osawa, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda

Journal of the Ceramic Society of Japan 132(7) 381-386 2024年7月1日査読有り責任著者
Crystal orientation of epitaxial film deposited on silicon surface

Satoru Kaneko, Takashi Tokumasu, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Daishi Shiojiri, Shigeo Yasuhara, Sumanta Kumar Sahoo, Musa Mutlu Can, Ruei Sung Yu, Kripasindhu Sardar …

Scientific Reports 14(1) 2024年5月13日
Surface structural analysis of SrF₂(111) using low-energy atom scattering spectroscopy

Hiroaki Fukuta, Goon Tan, Tomoaki Oga, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto, Hiroto Matsuura, Kenji Umezawa

Japanese Journal of Applied Physics 63(2) 025505-025505 2024年2月19日査読有り
Buffer-free epitaxial growth of ZnO(0001) thin films at room temperature by tetramethylammonium hydroxide pretreatment of α-Al2O3(0001) substrates

Kenta Kaneko, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Takayoshi Katase, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda

Journal of the Ceramic Society of Japan 131(8) 383-388 2023年8月1日査読有り
Control of atomic ordering of LiNiO2 thin films on a sapphire substrate from rock-salt to layered structure using uniaxial compression

Okkyun Seo, Jaemyung Kim, Jiayi Tang, L.S.R. Kumara, Koji Kimoto, Kazushi Miki, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto, Osami Sakata

Journal of Alloys and Compounds 945 169177-169177 2023年6月
Surface structural analysis of CaF2(111) using low-energy atom scattering spectroscopy

Hiroaki Fukuta, Goon Tan, Tomoaki Oga, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto, Kenji Umezawa

Journal of Vacuum Science & Technology A 41(4) 2023年5月30日査読有り
Room-temperature fabrication of epitaxial ZnO thin films on polymer substrates coated with a seed layer of exfoliated β-Ga2O3 single-crystal thin sheets by pulsed laser deposition

Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Yutaka Majima, Hisashi Miyazaki, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Journal of the Ceramic Society of Japan 131(5) 130-134 2023年5月1日査読有り
Fabrication of highly-oriented β-Ga₂O₃ thin film on ZnO/AlO _x -buffered cyclo-olefin polymer substrate by excimer laser annealing at room temperature

Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Kazuki Watanabe, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Japanese Journal of Applied Physics 62(4) 048003-048003 2023年4月1日査読有り
Crystallinity improvement of room-temperature PLD-deposited ZnO thin films on cyclo-olefin polymer substrates subject to surface-pretreatment with vacuum-UV-light irradiation

Tomoaki Oga, Ryoya Kai, Naho Kaneko, Hisashi Miyazaki, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Journal of Crystal Growth 603 127012-127012 2023年2月査読有り
Characterization of vacuum ultraviolet-irradiated surface modification of CoO(111) crystal by low-energy atom scattering spectroscopy

G. Tan, H. Fukuta, K. K. H. De Silva, A. Matsuda, M. Yoshimura, M. Yoshimoto, K. Umezawa

Journal of Vacuum Science & Technology A 40(6) 2022年9月30日査読有り
Carbon clusters on substrate surface for graphene growth- theoretical and experimental approach

Satoru Kaneko, Takashi Tokumasu, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Satomi Tanaka, Chihiro Kato, Shigeo Yasuhara, Tamio Endo, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto …

Scientific Reports 12(1) 2022年9月22日
Crystal orientation of epitaxial oxide film on silicon substrate

Satoru Kaneko, Takashi Tokumasu, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Shigeo Yasuhara, Tamio Endo, Masaki Azuma, Akufumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto, Sumanta Kumar Sahoo …

Applied Surface Science 586 152776-152776 2022年6月査読有り
Electronic states of gallium oxide epitaxial thin films and related atomic arrangement

Yanna Chen, Osami Sakata, Hiroyuki Morita, Akifumi Matsuda, Fanhao Jia, Okkyun Seo, Loku Singgappulige Rosantha Kumara, Toshiaki Ina, Eiichi Kobayashi, Jaemyung Kim …

Applied Surface Science 578 151943-151943 2022年3月査読有り
Simulation-Based Understanding of "Charge-Sharing Phenomenon" induced by Heavy-Ion incident on a 65nm Bulk CMOS Memory Circuit

Maru Akifumi, Matsuda Akifumi, Kuboyama Satoshi, Yoshimoto Mamoru

IEICE Transactions on Electronics E105.C(1) 47-50 2022年1月1日査読有り
Solid-phase epitaxial crystallization of β-Ga₂O₃ thin film by KrF excimer laser irradiation from backside of NiO (111)-buffered α-Al₂O₃ (0001) substrate at room temperature

Hiroyuki Morita, Takumi Matsushima, Kisho Nakamura, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Journal of Vacuum Science & Technology A 39(4) 043414-043414 2021年7月査読有り
Fabrication of ultra-flat c-axis oriented ZnO thin films on atomically stepped cyclo-olefin polymer (COP) substrates by pulsed laser deposition at RT

Tomoaki Oga, Shiori Yamada, Naho Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Japanese Journal of Applied Physics 59(12) 2020年12月1日

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MISC

ナノパターンポリマー基板上におけるリン酸Ca系薄膜の初期成長過程

金子奈帆, 前田優斗, 大賀友瑛, 林智広, MONDARTE Evan Angelo Quimada, 金子智, 金子智, 松田晃史, 吉本護

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
一軸加圧下熱処理によるBi₂VO_5+δ薄膜の配向性固相結晶化と特性評価

伊藤翔陽, 難波諒太郎, 三村和仙, 金子智, 金子智, 舟窪浩, 松田晃史, 吉本護

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
炭酸ガスによる酸化雰囲気でのグラフェン成長

金子智, 金子智, 安原重雄, 佐藤和郎, 安井学, 黒内正仁, 田中聡美, 加藤千尋, 松田晃史, 吉本護

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 78th 2017年
Numerical simulation of plasma confinement in DC magnetron sputtering under different magnetic fields and anode structures

Kageyama Junichi, Yoshimoto Mamoru, Matsuda Akifumi

旭硝子研究報告 65 131-133 2015年
4．ナノインプリント手法によるガラスやポリマー上での単原子レベル極微細パターン形成

松田晃史, 吉本護

Electrochemistry 83(11) 1016-1020 2015年
パルスレーザー堆積した室温成長エピタキシャル薄膜における熱処理後のナノ溝配列形成に及ぼす原子ステップ単結晶基板の影響

松田晃史, 笠原正靖, 吉本護

電気学会論文誌. C 135(9) 1096-1097 2015年
Refractive index change of multicomponent glass films for bismuthate erbium-doped waveguide amplifiers prepared by radio-frequency magnetron sputtering under different magnetic fields of cathode

Kageyama Junichi, Yoshimoto Mamoru, Matsuda Akifumi

旭硝子研究報告 64 55-60 2014年
Influence of shield roughness on Mo/Si defect density for extreme ultraviolet lithography mask blanks

Kageyama Junichi, Yoshimoto Mamoru, Matsuda Akifumi

旭硝子研究報告 64 61-65 2014年
研究最先端 V₂O₅-P₂O₅ガラスをベースとした新規熱電半導体の創製

松田晃史

New glass 28(3) 35-38 2013年11月
原子ステップ基板上への酸化物エピタキシャル薄膜のPLD室温成長とナノ構造構築

山内涼輔, 譚ゴオン, 塩尻大士, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護

電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2012(1) 31-35 2012年3月9日
レーザーMBE法による機能性セラミックス薄膜の室温エピタキシャル成長

松田晃史, 舘田典浩, 秋葉周作, 原和香奈, 佐々木敦, 吉本護

電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2005(1) 11-16 2005年3月4日

書籍等出版物

ナノインプリント: -次世代微細加工技術の最前線- (エレクトロニクスシリーズ)

平井義彦, 鈴木健太, 谷口淳, 大井秀雄, 柳下崇, 山岸里緒, 竹井敏, 山内一美, 江本顕雄, 菅野智士, 松川晴香, 渡邉有希, 新井翔, 岸本章, 雨宮智宏, 森莉紗子, 藤井恭, 浅井隆宏, 塩田大, 西山伸彦, 松田晃史, 大西有希, 浅田邦彦, 米川雅見, 幡野正之, 竹内史和, Thomas UHRMANN, 黒瀧宏和, 関口淳, 魚津吉弘, 遠藤達郎, 青木元秀, 朱彦北, 沖野晃俊, 梅村知也 (担当:共著)

シーエムシー出版 2024年7月18日 (ISBN: 478131810X)

講演・口頭発表等

257

Stability of epitaxial oxide thin film growth on silicon substrate withevaluation using density functional theory

Satoru Kaneko, Takashi Tokumasu, Masahito Kurouchi, Manabu Yasui, Masahiko Mitsuhashi, Can Mutlu Musa, Ruei Sung Yu, Sumanta Kumar Sahoo, Mariana Ionita, Meškinis Šarūnas, Masahiro Yoshimura, Akifumi Matsuda

Materials Research Meeting 2025 2025年12月10日 The Materials Research Society of Japan
Vacuum-UV photoinduced topochemical phase transition and conductivity control of copper oxide epitaxial thin films

Akifumi Matsuda, Kenta Kaneko, Yuchi Qiao, Takumu Hirano, Satoru Kaneko

Materials Research Meeting 2025 2025年12月10日 The Materials Research Society of Japan
Control of p-type conductivity of amorphous and epitaxial nickel oxide thin films by vacuum ultraviolet irradiation

Takumu Hirano, Yusei Yamanaka, Kenta Kaneko, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda

Materials Research Meeting 2025 2025年12月9日 The Materials Research Society of Japan
Structural control of Ni-Fe system heteroepitaxial oxide thin films by hydrogen reduction

Yusei Yamanaka, Takumu Hirano, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda

Materials Research Meeting 2025 2025年12月9日 The Materials Research Society of Japan
Control of surface nanopatterning on poly(lactic acid) sheets by tuned pressure in thermal nanoimprint method

Daichi Yui, Momoka Muraoka, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda

38th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 2025年11月20日 The Japan Society of Applied Physics
Rapid solid-phase crystallization of copper iron oxide thin films by excimer laser annealing

Arata Ito, Shoji Nakata, Ryoya Kai, Yukata Nakano, Satoru Kaneko, Yuta Kubota, Nobuhiro Matsushita, Akifumi Matsuda

The Fifteenth International Conference on the Science and Technology for Advanced Ceramics (STAC-15) 2025年9月30日
真空紫外光照射による酸化ニッケル薄膜のp型導電性制御における結晶性の影響

平野拓夢, 山中悠生, 金子智, 松田晃史

日本セラミックス協会第38回秋季シンポジウム 2025年9月18日日本セラミックス協会
遷移金属酸化物結晶の水素還元によるヘテロエピタキシャル薄膜の構造制御

山中悠生, 平野拓夢, 金子智, 松田晃史

日本セラミックス協会第38回秋季シンポジウム 2025年9月17日日本セラミックス協会
Ga₂O₃薄膜のELA固相エピタキシーにおけるドメイン構造と基板結晶面の影響

甲斐稜也, 伊藤新, 仲野由剛, 山中悠生, 金子智, 松田晃史

日本セラミックス協会第38回秋季シンポジウム 2025年9月17日日本セラミックス協会
酸化物固溶体のH2還元によるfcc型Ni1-xFexエピタキシャル薄膜の作製

山中悠生, 河村和哉, 金子智, 松田晃史

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月14日応用物理学会
ニッケル酸ランタン薄膜のエピタキシャル成長および還元による酸素欠損型構造の作製

河村和哉, 金子健太, 山中悠生, 金子智, 松田晃史

第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月17日応用物理学会
機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・物性に与える真空紫外光励起酸素種の効果

金子健太, 喬宇馳, 平野拓夢, 金子智, 松田晃史

日本セラミックス協会第37回秋季シンポジウム 2024年9月10日日本セラミックス協会
エキシマレーザーアニールによる酸化鉄バッファー層上Ga2O3薄膜の急速固相エピタキシー

甲斐稜也, 伊藤新, 金子智, 松田晃史

日本セラミックス協会第37回秋季シンポジウム 2024年9月10日日本セラミックス協会
Ni1–xFexO薄膜の室温成長およびH2還元によるfcc型Ni1–xFexエピタキシャル薄膜の作製

山中悠生, 河村和哉, 金子智, 松田晃史

第40回日本セラミックス協会関東支部研究発表会 2024年9月3日日本セラミックス協会関東支部
Fe2O3バッファー層を用いた紫外レーザーアニーリングによるα-Al2O3(0001)基板上Ga2O3薄膜のエピタキシャル固相結晶化

甲斐稜也, 沼田拓実, 金子智, 吉本護, 松田晃史

第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月25日応用物理学会
導電性ポリアニリン薄膜表面の超平坦化をめざしたスピンコート成膜

北村裕大, 梅本琉花, 島田侑果, 甲斐稜也, 金子智, 吉本護, 松田晃史

第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月23日応用物理学会
真空紫外光照射を用いた機能性酸化物エピタキシャル薄膜の構造・導電性変化

金子健太, 喬宇馳, 金子智, 吉本護, 松田晃史

日本セラミックス協会 2024年年会 2024年3月14日日本セラミックス協会
Vacuum-ultraviolet-light irradiation induced phase transition of Cobalt oxide epitaxial films at room-temperature

Kenta Kaneko, Qiao Yuchi, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda

Materials Research Meeting 2023 2023年12月15日 The Materials Research Society of Japan
Fabrication of uniaxially oriented β-Ga2O3 thin films on flexible polymer substrates by UV laser annealing at room temperature

Ryoya Kai, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda

Materials Research Meeting 2023 2023年12月14日 The Materials Research Society of Japan
La3Ni2O7エピタキシャル薄膜のPLD合成と水素熱処理による構造・物性変化

河村和哉, 金子健太, 金子智, 吉本護, 松田晃史

日本セラミックス協会第42回電子材料研究討論会 2023年11月9日日本セラミックス協会電子材料部会

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

エピタキシャル薄膜を用いた無限構造ニッケル酸塩における異原子価置換効果の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2020年4月 - 2023年3月

松田晃史
サブナノスケール形状転写を用いたフレキシブル基板上のエピタキシャル状電子光学素子の創製

村田学術振興財団研究助成 2018年5月 - 2019年4月

松田晃史
単原子層ステップを持つ有機系ナノパターン基板の作製と新規ナノ構造の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2016年4月 - 2019年3月

吉本護, 金子智, 松田晃史, 嶋田航大, 後藤りさ, 木下太一郎, 山田志織, 岩佐健
多波長レーザー照射と基板ナノ構造制御による紫外発光型単結晶性酸化物薄膜の室温成長

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2015年4月 - 2019年3月

松田晃史
一軸圧縮下での表面ナノ修飾基板上固相結晶化による特異な酸化物構造誘起と超機能創出

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2012年4月 - 2016年3月

吉本護, 淀徳男, 松田晃史
非晶質材料表面への天然素材ナノパターンの原子レベルでの超精密転写

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2012年4月 - 2015年3月

吉本護, 松田晃史
非晶質−結晶性材料における極微細構造の自己組織化誘発と形態制御および形成機構の解明

日本科学協会笹川科学研究助成 2012年5月 - 2013年2月

松田晃史
金属酸化物の還元反応を利用した酸化物半導体／強磁性金属ハイブリッドナノ構造の作製と新機能探索

日本科学協会笹川科学研究助成 2006年4月 - 2007年2月

松田晃史

松田晃史

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