2022年9月20日 金属ターゲットを用いたマグネトロンスパッタリング法による Ag-Fe2O3系黒色絶縁膜の作製 第83回応用物理学会秋季学術講演会 田中 聖, 石井 暁大, 山口 実奈, 及川 格, 山崎 雄亮, 伊村 正明, 高村 仁 開催年月日 2022年9月20日 - 2022年9月23日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)