2021年9月13日 水素雰囲気異方性熱エッチング(HEATE法)によるβ-Ga2O3の高アスペクトナノ構造の作製 第82 回応用物理学会秋季学術講演会 山崎裕貴, 木下堅太郎, 今田陵斗, 相川健喜, 門馬智亮, 菊池昭彦 開催年月日 2021年9月10日 - 2021年9月13日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)