講演・口頭発表等

2023年3月16日

水素雰囲気異方性熱エッチング（HEATE）法によるGaNナノホールの加工特性

第70回応用物理学会春季学術講演会
  • 本多卓人
    • ,
  • 米田幸司
    • ,
  • 相川健喜
    • ,
  • 倉邉海史
    • ,
  • 菊池昭彦
開催年月日
2023年3月15日 - 2023年3月18日
記述言語
会議種別
口頭発表（一般）
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