平井亜紀子 (Akiko Hirai) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所計量標準総合センター工学計測標準研究部門長さ標準研究グループグループ長

J-GLOBAL ID: 200901034582052336
researchmap会員ID: 5000006578

外部リンク: https://unit.aist.go.jp/riem/lgt-std/member/hirai.html

研究キーワード

研究分野

ナノテク・材料 / 光工学、光量子科学 /

論文

Two-point diameter calibration of a sphere by a micro-coordinate measuring machine using a silicon gauge block as a reference standard

Yohan Kondo, Akiko Hirai, Toshiharu Katsube, Natsumi Kawashima, Youichi Bitou

PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY 92 167-178 2025年3月
Novel analysis of alignment error on spherical Fizeau interferometer and uncertainty evaluation of sphericity calibration system based on random ball test

Natsumi Kawashima, Yohan Kondo, Akiko Hirai, Youichi Bitou

OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING 184 2025年1月
Evaluation of the change in photoresist sidewall roughness due to electron beam-induced shrinkage using atomic force microscopy

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 22(04) 2023年12月7日
Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Precision Engineering 83 152-158 2023年9月
Effect of white noise on roughness measurements of self-affine fractals

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 34(10) 105003-105003 2023年7月3日
Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control XXXVII 2023年4月27日
Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Applied Physics 133(6) 065302-065302 2023年2月14日
Unbiased line edge roughness measurement using profile-averaging method for precise roughness parameters measurement

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 21(02) 2022年5月30日
Two-point diameter calibration of a sphere using a micro-coordinate measuring machine at NMIJ

Yohan Kondo, Akiko Hirai, Bitou Youichi

Metrologia 59(2) 024005-024005 2022年4月1日
Extension of the probe-tip error evaluation for areal surface roughness measurements using metrological AFM

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement: Sensors 18 100092-100092 2021年12月
Precise measurement of the thickness of silicon wafers by double-sided interferometer and bilateral comparison

Akiko Hirai, Youichi Bitou, Jaeseok Bae, Jungjae Park, Jonghan Jin

Metrologia 58(5) 054002-054002 2021年10月1日
Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV 2021年2月22日
Direct comparison of line edge roughness measurements by SEM and a metrological tilting-atomic force microscopy for reference metrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 19(4) 2020年10月
A standard used for probe-tip diameter evaluation in surface roughness measurements using metrological atomic force microscope

Ichiko Misumi, Ryosuke Kizu, Kentaro Sugawara, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY 31(9) 2020年9月
Line edge roughness measurement on vertical sidewall for reference metrology using a metrological tilting atomic force microscope

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 19(01) 1-1 2020年3月23日査読有り
Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV 11325 113250Q 2020年3月20日
A reference-scan-based method for correcting the nonlinear drift of atomic force microscopy at sub-nanometer precision

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Measurement Science and Technology 2020年1月14日査読有り
Traceable Atomic Force Microscope for Surface Roughness Calibration of Sub-Nanometer Order

Ichiko MISUMI, Ryosuke KIZU, Akiko HIRAI, Satoshi GONDA

Journal of the Japan Society for Precision Engineering 2019年11月5日査読有り
Extension of the range of profile surface roughness measurements using metrological atomic force microscope

Ichiko Misumi, Kentaro Sugawara, Ryosuke Kizu, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Precision Engineering 2019年3月査読有り
Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda

Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII 109592 109592B 2019年3月

もっとみる

MISC

球面フィゾー干渉計におけるミスアライメントによる測定誤差の解析

川嶋なつみ, 近藤余範, 平井亜紀子, 尾藤洋一

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2024 2024年
ピストン・シリンダの円筒形状計測による圧力標準の高度化への取り組み(第3報)-超精密三次元座標測定機を用いたブロックゲージにトレーサブルな円筒直径計測-

武井良憲, 近藤余範, 平井亜紀子, 吉田肇, 梶川宏明, 尾藤洋一

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2024 2024年
マイクロCMMを用いた球直径測定に関する研究-T型先鋭スタイラスの開発-

近藤余範, 川嶋なつみ, 平井亜紀子, 尾藤洋一

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2023 2023年
非線形誤差10pm以下を実現した空間分離型ヘテロダイン干渉変位計

横山修子, 堀泰明, 横山敏之, 平井亜紀子

光計測シンポジウム論文集 25-28 2016年
メートル原器の今昔

平井亜紀子

計量史研究 37(1) 1-5 2015年
干渉計測

平井亜紀子

光学 42(4) 186-188 2013年4月10日
長さ計測分野における計量標準の整備・供給状況と今後

高辻利之, 美濃島薫, 鍜島麻理子, 寺田聡一, 平井亜紀子, 堀泰明, 尾藤洋一, 権太聡, 大澤尊光, 近藤余範 …

計測標準と計量管理 60(3) 11-21 2010年12月
ガラスの屈折率標準の確立に向けた取り組み

堀泰明, 平井亜紀子, 美濃島薫

光学 39(3) 136-140 2010年3月10日
Improvement of gauge block measurement without wringing using tandem low-coherence interferometer

W. Agustinus, A. Hirai, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto

Proceedings of the 10th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2010 1 237-240 2010年1月1日
ファインセラミックスを用いた実用長さ標準器

松本弘一, 平井亜紀子

セラミックス 40(6) 449-451 2005年6月1日
光ファイバー網標準

光測定器ガイド 2004年
In-situ remote-measurements of optical products using a low-coherence tandem interferometer with an optical fiber

Technical Digest of 2004 ICO International Conference Optics & Photonics in Technology Frontier 2004年
21aTF-10 モード同期ファイバーレーザーを用いた広帯域光コムの発生及びキャリアーエンベロープオフセット周波数の測定

洪鋒雷, 美濃島薫, 大苗敦, 稲場肇, 高田英之, 平井亜紀子, 松本弘一, 杉浦利治, 吉田睦

日本物理学会講演概要集 58 2003年
「長さ標準器」の遠隔校正技術を開発

AIST TODAY 3(6) 23-23 2003年
干渉計測

平井亜紀子

光学 31(5) 397-398 2002年5月10日
低コヒーレンス干渉を利用した光ファイバーによる長さ情報の伝送

平井亜紀子, 松本弘一

電気学会研究会資料. IM, 計測研究会 2002(1) 25-28 2002年1月25日
C-3-10 移動回折格子によるヘテロダイン方式フーリエ変換赤外分光法

藤村厚, 木村康男, 平井亜紀子, 松本弘一, 庭野道夫

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2001(1) 120-120 2001年8月29日
A white-light inerferometer using a lamp source and heterodyne detection with acousto-optic modulators

Matsumoto Hirokazu, Hirai Akiko

計量研究所報告 49(3) 303-306 2000年
White-light interferometry using pseudo random-modulation for high-sensitivity and high-selectivity measurements

Hirai Akiko, Seta Katsuo, Matsumoto Hirokazu

計量研究所報告 48(4) 373-377 1999年10月
ICOSN '99 参加報告

平井亜紀子

光学 28(9) 527-528 1999年9月10日

もっとみる

共同研究・競争的資金等の研究課題

デュアルコム分光干渉計の位相測定と両面干渉計による群屈折率の超高精度測定法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

清水祐公子, 平井亜紀子, 尾藤洋一, 大久保章, 稲場肇, 入松川知也
デュアルコム分光干渉計の位相測定と両面干渉計による群屈折率の超高精度測定法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

清水祐公子, 入松川知也, 稲場肇, 大久保章, 尾藤洋一, 平井亜紀子
タンデム型低コヒーレンス両面干渉計による透明基板の厚さと屈折率同時測定技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2023年3月

平井亜紀子
フィードバック型広帯域干渉計による位相・群屈折率分散計測システムの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2011年 - 2013年

平井亜紀子
分光立体映像再生のための超広帯域ヘテロダイン干渉計の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2010年 - 2012年

吉森久, 平井亜紀子
1.干渉測長 2.低コヒーレンス干渉

平井亜紀子

基本情報

研究キーワード

研究分野

論文

MISC

共同研究・競争的資金等の研究課題

メニュー

共著者の一覧