2022年3月 - 2024年2月 汎用ドライバで駆動可能な3自由度球面アクチュエータの開発 公益財団法人 NSKメカトロニクス技術高度化財団 研究助成 部矢 明 担当区分 研究代表者 資金種別 競争的資金