講演・口頭発表等

2020年1月31日

気相反応の観点から見たGaN MOVPE中の炭素混入の原因の解明

第25回電子デバイス界面テクノロジー研究会-材料・プロセス・デバイス特性の物理-
  • Yuto Okawachi
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  • Kenta Chokawa
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  • Masaaki Araidai
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  • Akira Kusaba
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  • Yoshihiro Kangawa
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  • Koichi Kakimoto
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  • Zheng Ye
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  • Yoshio Honda
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  • Shugo Nitta
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  • Hiroshi Amano
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  • Kenji Shiraishi