講演・口頭発表等

2020年1月31日

気相反応の観点から見たGaN MOVPE中の炭素混入の原因の解明

第25回電子デバイス界面テクノロジー研究会－材料・プロセス・デバイス特性の物理－
  • 大河内勇斗
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  • 長川健太
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  • 洗平昌晃
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  • 草場彰
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  • 寒川義裕
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  • 柿本浩一
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  • 叶正
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  • 新田州吾
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  • 本田善央
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  • 天野浩
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  • 白石賢二
開催年月日
2020年1月31日 - 2020年2月1日
記述言語
日本語
会議種別
ポスター発表
開催地
静岡
国・地域
日本
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