2020年11月10日 機械学習によるスパッタAlN膜の高温アニール最適プロセス探索 第49回結晶成長国内会議 草場彰, 寒川義裕, 則松研二, 三宅秀人 開催年月日 2020年11月9日 - 2020年11月11日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表（一般） 開催地 オンライン
