講演・口頭発表等

2021年1月23日

ab initio計算を用いたGaN MOVPEにおけるTMG分解過程へのH2とNH3による効果の理論的考察

第26回電子デバイス界面テクノロジー研究会－材料・プロセス・デバイス特性の物理－
  • 榊原聡真
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  • 長川健太
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  • 洗平昌晃
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  • 草場彰
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  • 寒川善裕
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  • 白石賢二
開催年月日
2021年1月22日 - 2021年1月23日
記述言語
日本語
会議種別
口頭発表（一般）
開催地
オンライン
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