講演・口頭発表等

国際会議
2021年1月20日

Theoretical study of the effects of H2 and NH3 on the TMG decomposition process in GaN crystal growth

International Symposium on Wide Gap Semiconductor Growth, Process and Device Simulation 2021 (ISWGPDs 2021)
  • Soma Sakakibara
    • ,
  • Kenta Chokawa
    • ,
  • Masaaki Araidai
    • ,
  • Akira Kusaba
    • ,
  • Yoshihiro Kangawa
    • ,
  • Kenji Shiraishi
開催年月日
2021年1月19日 - 2021年1月21日
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表
開催地
Online
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