特許権 欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラム オムロン株式会社 吉田 光志, 天野 敏之 出願番号 特願2009-048114 出願日 2009年3月2日 公開番号 特開2010-203845 公開日 2010年9月16日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201003039639867463 ID情報 J-Global ID : 201003039639867463