微小材料機械試験装置の開発をおこなっているが、今回、装置開発の概要と装置の特性把握のために各種微小線材の破断強度測定を行った結果について報告する。今回用いた試料は、マイクロオーダーのSUS304,SiCの線材および100umサイズのシリコン線材等についてである。