特許権 酸化物前駆体のパターン形成方法 国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 下田 達也, 廣瀬 大亮, 永原 幸児, 芳本 祐樹 出願番号 特願2015-051501 出願日 2015年3月14日 公開番号 特開2016-170361 公開日 2016年9月23日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201603001511633688 ID情報 J-Global ID : 201603001511633688