2012年10月 優秀論文賞 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 第4回「集積化MEMSシンポジウム」 小西敏文, 丸山智史, 三田 信, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 石原 昇, 益 一哉, 藤田博之, 年吉 洋 タイトル ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS統合設計技術
