書籍等出版物

2021年4月

Effective Young’s Modulus of Elelectrodeposited Gold for Design of MEMS Accelerometers

  • Tso-Fu Mark Chang
    • ,
  • Hideaki Nakajima
    • ,
  • Chun-Yi Chen
    • ,
  • Daisuke Yamane
    • ,
  • Toshifumi Konishi
    • ,
  • Hiroyuki Ito
    • ,
  • Katsuyuki Machida
    • ,
  • Kazuya Masu
    • ,
  • Hiroshi Toshiyoshi
    • ,
  • Masato Sone
担当区分
共著
担当範囲
Advances in Microelectronics: Reviews
出版者・発行元
IFSA PUBLISHING, S.L.
書籍等出版物リストへ