MISC

2018年9月5日

MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する研究

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • 中島英亮
    • ,
  • CHANG Tso‐Fu Mark
    • ,
  • CHEN Chun‐Yi
    • ,
  • 山根大輔
    • ,
  • 小西敏文
    • ,
  • 町田克之
    • ,
  • 年吉洋
    • ,
  • 伊藤浩之
    • ,
  • 益一哉
    • ,
  • 曽根正人
巻
79th
号
開始ページ
ROMBUNNO.18a‐233‐6
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201802252736171062
ID情報
  • J-Global ID : 201802252736171062
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