論文

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2018年10月

Numerical Identification of Trivelpiece–Gould Waves in an Electron Cyclotron Resonance Etching Reactor

IEEE Transactions on Plasma Science

Hitoshi Tamura
Tsutomu Tetsuka
Nanako Tamari
Daisuke Kuwahara
Shunjiro Shinohara

巻: 46
号: 10
開始ページ: 3662
終了ページ: 3668
DOI: 10.1109/TPS.2018.2859382
出版者・発行元: Institute of Electrical and Electronics Engineers ({IEEE})

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1109/TPS.2018.2859382
Web of Science: https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000446670600002&DestApp=WOS_CPL
URL: http://orcid.org/0000-0002-2876-928X

ID情報

DOI : 10.1109/TPS.2018.2859382
ISSN : 0093-3813
ORCIDのPut Code : 47599872
Web of Science ID : WOS:000446670600002

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