今井信一 (Shinichi Imai) - マイポータル

基本情報

所属: 株式会社　オキサイド

研究者番号: 60502474
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0002-1660-0997
J-GLOBAL ID: 202201009604894881
researchmap会員ID: R000032948

経歴

2017年8月 - 2023年3月

株式会社オキサイド
2020年9月 - 2023年3月

特定国立研究開発法人理化学研究所, 中赤外レーザー光源研究開発チーム, チームリーダー
2011年4月 - 2018年3月

大阪大学, 招へい教授
2012年1月 - 2017年6月

メガオプト, 開発部, 部長
2014年4月 - 2017年3月

理化学研究所, レーザー多元技術開発チーム, チームリーダー
1982年4月 - 2011年12月

株式会社東芝, 生産技術センター, 研究主幹
2004年8月 - 2010年3月

アドバンスドマスクインスペクションテクノロジー, スキャナ技術部, 部長
2001年8月 - 2004年3月

半導体MIRAIプロジェクト, リソマスク検査グループ (サブグループリーダー)

委員歴

論文

光電子分光用深紫外・真空紫外レーザー光源の開発

柳田達哉, 和田芳夫, 長島椿, 今井信一

レーザー研究 52(1) 22-26 2024年1月査読有り最終著者責任著者
Noncritically phase-matched self-difference frequency generation using transition-metal doped chalcogenides

Kentaro Miyata, Masaki Yumoto, Yasushi Kawata, Satoshi Wada, Shinichi Imai

Nonlinear Frequency Generation and Conversion: Materials and Devices XXII 2023年3月14日最終著者
Parametric downconversion via vibronic transition

Kentaro Miyata, Masaki Yumoto, Yasushi Kawata, Shinichi Imai, Satoshi Wada

Optics Letters 47(14/15) 3383-3386 2022年6月14日査読有り
Burst pulse generation in Cr:ZnSe laser with mid-infrared tunability

Yusuke Okabayashi, Yasuhiro Tomihari, Masaki Yumoto, Shinichi Imai

Optical Engineering 61(3) 2022年3月査読有り責任著者
パルスオンデマンドCr:ZnSeレーザー

岡林裕介, 湯本正樹, 富張康弘, 今井信一

レーザー学会研究会報告 11980 119800E-1 2021年3月査読有り責任著者
2 µm Tm:YAG laser with pulse-on-demand operation

Yusuke Okabayashi, Yasuhiro Tomihari, Shinichi Imai, Masaki Yumoto, Satoshi Wada, Yasunori Furukawa

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 11664 2021年
Highly reliable 198-nm light source for semiconductor inspection based on dual fiber lasers

Shinichi Imai, Kazuto Matsuki, Nobutaka Kikuiri, Katsuhiko Takayama, Osamu Iwase, Yoshiharu Urata, Tatsuya Shinozaki, Yoshio Wada, Satoshi Wada

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 7580 2010年
Deep UV light generation by a fiber/bulk hybrid amplifier at 199nm

Yoshiharu Urata, Tatsuya Shinozaki, Yoshio Wada, Yushi Kaneda, Satoshi Wada, Shinichi Imai

Applied Optics 48(9) 1668-1674 2009年3月20日
Polarization-maintaining 1064 nm fiber MOPA system with narrow bandwidth for wavelength conversion

Yoshio Wada, Tatsuya Shinozaki, Yoshiharu Urata, Yushi Kaneda, Satoshi Wada, Shinichi Imai

Optics InfoBase Conference Papers 2007年
Development of advanced reticle inspection apparatus for hp 65 nm node device and beyond

Nobutaka Kikuiri, Shingo Murakami, Hideo Tsuchiya, Motonari Tateno, Kenichi Takahara, Shinichi Imai, Ryoichi Hirano, Ikunao Isomura, Yoshitake Tsuji, Yukio Tamura …

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 6283 I 2006年
Mask inspection technology for 65nm (hp) technology node and beyond

Toru Tojo, Ryoich Hirano, Hiromu Inoue, Shinichi Imai, Nobuyuki Yoshioka, Katsumi Ohira, Dong Hoon Chung, Tsuneo Terasawa

AIP Conference Proceedings 788 457-467 2005年9月9日
Advanced mask inspection optical system (AMOS) using 198.5nm wavelength for 65nm (hp) node and beyond -System development and initial state D/D inspection performance

Toru Tojo, Ryoich Hirano, Hideo Tsuchiya, Junji Oaki, Takeshi Nishizaka, Yasushi Sanada, Kazuto Matsuki, Ikunao Isomura, Riki Ogawa, Noboru Kobayashi …

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 5567(PART 2) 1011-1023 2004年
Long-pulse ultraviolet-laser sources based on tunable alexandrite lasers

Shinichi Imai, Hiroshi Ito

IEEE Journal of Quantum Electronics 34(3) 573-576 1998年3月
Feasibility study of the lidar light source with an alexandrite laser

Shin'ichi Imai, Tsuyoshi Kido, Atsushi Takada, Katsuyuki Ebisawa

Fusion Engineering and Design 34-35 631-634 1997年3月
光ファイバーによるYAG光の伝送とその工業的応用

伊藤弘, 後藤訓顕, 今井信一

レーザー研究 22 321-328 1994年査読有り最終著者
高輝度パルスＹＡＧレーザーと加工応用

今井信一, 山形康一

レーザー研究 20(1) 2-10 1992年1月査読有り筆頭著者責任著者
１０Ｗ級ＳＨＧ-ＹＡＧレーザー素子

今井信一, 数田幸司

レーザー研究 20(4) 200-206 1992年査読有り筆頭著者責任著者
A 20 W Cr³⁺, Tm³⁺, Ho³⁺: YAG laser

S. Imai, T. Yamada, Y. Fujimori, K. Ishikawa

Optics and Laser Technology 22(5) 351-353 1990年10月
Third-harmonic generation of an alexandrite laser in β-BaB <inf>2</inf>O<inf>4</inf>

Shinichi Imai, Toshitaka Yamada, Yasutomo Fujimori, Ken Ishikawa

Applied Physics Letters 54(13) 1206-1208 1989年
Narrow linewidth KrF excimer laser

N. Nishida, J. Sakuma, T. Kawamura, K. Yamagata, N. Kuwano, S. Imai, S. Ishida, Y. Fujimori

CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-0PTICS 366-367 1989年

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MISC

パルスオンデマンドCr:ZnSeレーザー (高機能固体レーザーとその応用)

岡林裕介, 湯本正樹, 富張康弘, 今井信一

レーザー学会研究会報告 = Reports the on topical meeting of the Laser Society of Japan 21(7) 33-37 2021年7月16日
Yb添加ファイバーアンプを用いた114nmレーザー

篠崎琢也, アンドリューメリアム, 竹平一哉, 金田有史, 今井信一

レーザー学会学術講演会第41回年次大会予稿集 B03-18p-II-01 2021年1月査読有り招待有り最終著者責任著者
絶滅危惧種（レーザーコンパス）

今井信一

レーザー研究 48 61 2020年招待有り筆頭著者
真空紫外光発生用CLBO素子の長寿命化

今井信一, 松木一人, 飯田晋, 金田有史, 吉村政志, 森勇介, 佐々木孝友, 廣橋淳二, 宮本晃男

第５７回応用物理学連合講演会 2010年3月筆頭著者
CLBO素子と深紫外光源の高性能化

今井信一, 松木一人, 飯田晋, 金田有史, 吉村政志, 森勇介, 佐々木孝友, 廣橋淳二, 宮本晃男, 古川保典

レーザー学会年次大会 36-37 2010年招待有り筆頭著者責任著者
ファイバー-固体ハイブリッド型増幅器を用いた深紫外レーザーの開発

篠崎琢也, 和田芳夫, 浦田佳治, 和田智之, 今井信一, 松木一人, 菊入信孝

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 394 37-41 2009年12月8日
乾燥雰囲気下で育成した非線形光学結晶CsLiB6O10の光学評価

清水庸平, 吉村政志, 河村貴宏, 古川保典, 宮本晃男, 今井信一, 北岡康夫, 森勇介, 佐々木孝友

第39回結晶成長国内会議(NCCG-39) 2009年11月
全固体パルス198nm光源の開発

篠崎琢也, 和田芳夫, 浦田佳治, 金田有史, 和田智之, 今井信一

第７０回応用物理学会学術講演会 2009年9月
高信頼度真空紫外光源の実現と半導体製造装置への搭載”

今井信一

平成21年度「多元技術融合光プロセス研究会」 2009年7月招待有り筆頭著者責任著者
CLBOの紫外光微少吸収の定量測定方法に関する実験的考察

廣橋淳二, 金田有史, 宮本晃男, 古川保典, 吉村政志, 森勇介, 佐々木孝友, 今井信一, 松木一人, 飯田晋

第56回応用物理学関係連合講演会 2009年4月
半導体MIRAIプロジェクトにおける紫外光源研究

今井信一

日本光学会名古屋講演会 2004年2月招待有り筆頭著者
計測用高出力CW紫外光源

今井信一, 寺澤恒男

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 313 13-16 2003年9月17日
深紫外用超高速ＴＤＩセンサー

井上広, 今井信一, 野村武彦, 東條徹

平成15年秋季応用物理学会講演会 1p-W-17 2003年
固体レーザーが開く２１世紀

今井信一

若手技術者と学生のためのレーザー応用セミナー 1-8 2000年7月招待有り筆頭著者責任著者
2.4kW YAGレーザーと応用

Conference on Lasers and Electro-Optics 1990年5月査読有り
中赤外レーザ発振器

今井信一

レーザ協会報 14 1-5 1989年
アレキサンドライトレーザと応用

今井信一, 伊藤弘, 石田修一, 藤森康朝, 石川憲

電子通信学会技術研究報告 86(90) 1986年

産業財産権

特許7561383 レーザー光源及び光電子顕微鏡

辛埴谷内敏之, 今井信一, 藤浦和夫, 古川保典
特開2023-027927 パタン検査装置およびパタン検査方法

今井信一
特許第6560983号ガス分析装置およびガス分析方法

湯本正樹, 宮▲崎▼ 洸治, 和田智之, 小川貴代, 今井信一
特許第6532295号多波長レーザー発振装置および多波長レーザー発振方法

今井信一, 加藤一夫
特開2016-219712 多波長レーザー発振装置および多波長レーザー発振方法

今井信一, 加藤一夫
特開2016-218373 多波長発振型光パラメトリック発振装置および多波長発振型光パラメトリック発振方法

宮田憲太郎, 今井信一
特開2015-084381 固体レーザ発振装置

今井信一, 中井博紀, 佐野圭二, 小嶋康, 松本太成
WO2015-033582 ガス分析装置およびガス分析方法

湯本正樹, 宮▲崎▼ 洸治, 和田智之, 小川貴代, 今井信一
特開2013-068551 パターン検査装置、およびパターン検査方法

今井信一
特開2013-064703 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

今井信一
特許第5087038号パタン検査装置

今井信一
特許第5075893号パターン検査システム

西坂武士, 松木一人, 今井信一
特許第4729093号波長変換光源装置及び波長変換方法

今井信一, 浦田佳治
特開2011-064472 パターン検査システム

西坂武士, 松木一人, 今井信一
特許第4693810号照明装置及びパタン検査装置

今井信一, 和田芳夫, 浦田佳治
特許第4634427号照明装置及びパターン検査装置

今井信一
特開2010-128119 波長変換光源装置及び波長変換方法

今井信一, 浦田佳治
特許第4361043号パタン検査装置

今井信一
特開2009-175749 パタン検査装置

今井信一
特開2009-080063 照明装置及びパターン検査装置

今井信一

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