江刺正喜 (Masayoshi Esashi) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター学術研究員
: 株式会社メムス・コア CTO

学位: 工学博士

J-GLOBAL ID: 200901071959608000
researchmap会員ID: 1000004848

外部リンク: http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/

1971年東北大学工学部電子工学科卒。1976年同大学院博士課程修了。同年より東北大学工学部助手、1981年助教授、1990年より教授となり、2013年定年退職。現在㈱メムス・コア CTO、兼東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC) リサーチフェロー。半導体センサ、マイクロシステム、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究に従事。
著書：「半導体集積回路設計の基礎」培風館(1986年)、「電子情報回路ⅠⅡ」森北出版(2014年)、「はじめてのMEMS」森北出版(2011年)、「これからのMEMS」森北出版(2016年)、「超並列電子ビーム描画装置の開発」東北大学出版会(2018年) 他
受賞：紫綬褒章(2006年)、IEEE Andrew S.Grove Award (2015)、IEEE Andrew Jun-ichi Nishizawa medal (2016)他

研究キーワード

研究分野

ナノテク・材料 / ナノマイクロシステム / 微小電気機械システム

経歴

2019年4月 - 現在

東北大学, マイクロシステム融合研究開発センター, 学術研究員

学歴

1976年3月 - 現在

東北大学, 工学研究科, 電子工学専攻

受賞

2016年6月

西澤潤一メダル, 自動車・携帯機器・工業・医療におけるMEMSの開拓, 米国電気工学会

江刺正喜
2015年1月

アンドリューグローブ賞, 輸送・製造におけるMEMS開発, 米国電気工学会

江刺正喜
2006年5月

紫綬褒章, マイクロシステム学に関する研究

江刺正喜

論文

662

256

アクティブマトリックスナノ結晶シリコン電子源アレイを用いた超並列電子線直接描画装置の開発

江刺正喜, 小島明, 池上尚克, 宮口裕, 越田信義

Microsystems & Nanoengineering 1 15029 2015年査読有り
Bonding of a Si microstructure using field-assisted glass melting

Hironori Seki, Takahito Ono, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi

Journal of Micromechanics and Microengineering 18(8) 085003 2008年8月1日査読有り
Fabrication of piezoresistive nanocantilevers for ultra-sensitive force detection

Y. G. Jiang, T. Ono, M. Esashi

Measurement Science and Technology 19(8) 084011 2008年8月1日査読有り
Process for the fabrication of hollow core solenoidal microcoils in borosilicate glass

Mona J.K. Klein, Takahito Ono, Masayoshi Esashi, Jan G. Korvink

Journal of Micromechanics and Microengineering 18(7) 075002 2008年8月1日査読有り
Maximum accuracy evaluation scheme for wireless SAW delay-line sensors

Jan H. Kuypers, Leonhard M. Reindl, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEE TRANSACTIONS ON ULTRASONICS FERROELECTRICS AND FREQUENCY CONTROL 55(7) 1640-1652 2008年7月査読有り
Piezoresistive Nanocantilevers with an Ultra-shallow Boron Doped Layer Using Spin-on Diffusion Method for MRFM Application

Y.G.Jiang, T.Ono, Z.L.An, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 3B1-6 102-105 2008年6月11日査読有り
Piezoresistive Silicon Microresonator with Carbon Nanotubes for Mass Detection

Z.L.An, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 2B1-4 32-35 2008年6月11日査読有り
Quartz-crystal Scanning Probe Microcatilevers with a Silicon Tip Based on Direct Bonding of Silicon and Quartz

A.Takahashi, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 2B2-2 112-115 2008年6月11日査読有り
Carbon Nanotube Emitter with Narrow Gap for Thermoelectric Generation

H.Kurahashi, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 3B1-2 98-101 2008年6月11日査読有り
Vertically-Aligned Carbon Nanotube Composite Actuator

N.Oda, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 2D1-4 68-71 2008年6月11日査読有り
ouble-side Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide for MEMS

K.Ishizuka, B.Larangot, M.Esashi, S.Tanaka

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 2D2-4 156-159 2008年6月11日査読有り
Time-of-flight Mass Analyzer Scanning Force Microscope Probe with Electrostatic Actuator

C.Y.Shao, Y.Kawai, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 1A2-5 5-8 2008年6月11日査読有り
Conductive Polymer Patterned Media Fabricated Using Diblock Copolymer Lithography for Scanning Multiprobe Data Storage

S.Yoshida, T.Ono, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 2S0-1 1-4 2008年6月11日査読有り
Long Working Range Mercury Droplet Actuation

T.Tsukamoto, S.Tanaka, M.Esashi

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 1A2-4 122-125 2008年6月11日査読有り
Forward-looking Intravascular Ultrasound Probe Using PMN-PT Single Crystal

J.-J.Chen, R.Kashu, M.Esashi, S.Tanaka

The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008) 1B2-4 21-24 2008年6月11日査読有り
A Si-PZT Hybrid XY-Microstatge Utilizing an Actuator Amplification Mechanism

M.Faizul B.M.S, T.Ono, Y.Kawai, M.Esashi

11th Intnl. Conf. on New Actuators (Actuator 2008) 75-78 2008年6月9日査読有り
Test of B/Ti multilayer reactive igniters for a micro solid rocket array thruster

Shuji Tanaka, Kazuyuki Kondo, Hiroto Habu, Akihito Itoh, Masashi Watanabe, Keiichi Hori, Masayoshi Esashi

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 144(2) 361-366 2008年6月査読有り
Conductive Polymer Recording Media for Scanning Multiprobe Data Storage System

S.Yoshida, T.Ono, M.Esashi

International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 127-128 2008年5月19日査読有り
Fabrication of NanoMechanical Probe for Thermal Sensing

M.Toda, T.Ono, W.Cho, S.-J.Kim, M.Esashi

International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 211-212 2008年5月19日査読有り
Electrostatically controlled, pneumatically actuated microvalve with low pressure loss

Daisuke Satoh, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

IEEJ TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC ENGINEERING 3(3) 305-312 2008年5月査読有り

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MISC

103

Wafer level packaging of MEMS

Masayoshi Esashi

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING 18(7) 073001 2008年7月
MEMSセンサ、半導体の"DNA"獲得で高性能、複合機能、高信頼へと進化(機器開発者のためのセンサ工学)

江刺正喜

日経エレクトロニクス 975 20-33 2008年4月7日
MEMSの現状と今後の展望(後編)

江刺正喜

Encore 56 13-16 2008年4月
MEMSの現状と今後の展望(前編)

江刺正喜

Encore 55 10-12 2008年2月
MEMSの最新技術動向

江刺正喜

KEC情報 204 4-9 2008年
MEMS技術の最新動向

江刺正喜

電子材料 47(7) 73-77 2008年
マイクロアクチュエータ利用のMEMS

江刺正喜

日本機械学会誌 111(1072) 36-37 2008年
先達の足跡を通して理解する書

江刺正喜

金属 78(6) 534 2008年
MEMSデバイス: 実用化動向

江刺正喜

電気学会誌 128(6) 373-374 2008年
マイクロマシン/MEMSと信頼性

江刺正喜

REAJ誌 30(2) 120-127 2008年
実験・試作装置活用術－自作するメリット

江刺正喜

Inter Lab. 101 9-12 2007年3月
MEMSの試作開発 -大学研究室・研究所・施設紹介-

江刺正喜

水晶デバイス 28(4) 4-8 2007年
安全安心をめざす，医療機器へのマイクロシステムの応用

芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 江刺正喜

エレクトロニクス実装学会誌 10(6) 453-456 2007年
安全のためのMEMSセンサ

江刺正喜

鉄道と電気技術 18(4) 3-8 2007年
MEMSコラボレーション

江刺正喜

SEMI News 23(6) 22-23 2007年
MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して

小野崇人, 岩見健太郎, 江刺正喜, 後藤顕也

光アライアンス 18(12) 15-19 2007年
真空に関係するMEMS技術

江刺正喜

真空ジャーナル 111 15-19 2007年
MEMS総論

江刺正喜

金属 77(7) 719-722 2007年
医療用マイクロロボット

芳賀洋一, 松永忠雄, 牧志渉, 江刺正喜

ロボット 178 1-6 2007年
低侵襲検査・治療のための超音波マイクロデバイスの開発

芳賀洋一, 陳俊傑, 安居晃啓, 和田仁, 江刺正喜

超音波TECHNO 19(4) 82-86 2007年

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書籍等出版物

107

超並列電子ビーム描画装置の開発－集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

江刺正喜, 宮口裕, 小島明, 池上尚克, 越田信義, 菅田正徳, 大井英之 (担当:共著)

東北大学出版会 2018年6月
これからのMEMS - LSIとの融合

江刺正喜, 小野崇人 (担当:共著)

森北出版 2016年6月
はじめてのMEMS

江刺正喜

森北出版 2011年3月
2008マイクロマシン／MEMS技術大全

江刺正喜 (担当:共著, 範囲:pp.20-31, pp.188-213)

電子ジャーナル 2008年
次世代センサハンドブック

江刺正喜 (担当:共著, 範囲:マイクロマシーニング技術(11章 pp.445-492))

培風館 2008年
Microsystem and Nanotechnology

M.Esashi

Chinese Science Press 2007年
MEMSマテリアルの最新技術

江刺正喜 (担当:監修, 範囲:序章 MEMSの基礎と応用(pp.1-7)、8 ウェハレベルパッケージング(pp.176-187))

シーエムシー出版 2007年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

Y.-C.Lin, T.Ono, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Quartz-Crystal Cantilevered Resonator for Nanometric Sensing pp.401-410)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

M.H.Mourad, K.Totsu, S.Kumagai, S.Samukawa, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Enhanced Electron Emission Using Indium Tin Oxide / Silicon Monooxide / Gold Stracture pp.443-454)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

K.Yotsu, Y.Haga, T.Matsunaga, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Development of Ultra-Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor pp.529-540)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

S.Yoshida, T.Ono, S.Oi, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Reversible Electrical Modification on Conductive Polymer for Proximity Probe Data Storage pp.623-632)

Imperial College Press 2006年
2006マイクロマシン／ＭＥＭＳ技術大全

江刺正喜 (担当:共著, 範囲:pp.26-41, pp.148-193)

電子ジャーナル 2006年
Frontiers in Electronics

Masayoshi Esashi (担当:共著, 範囲:Recent Progress of Application-oriented MEMS through Industry-university Collaboration pp.693-704)

World Scientific 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

P.Kang, S.Tanaka, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Study on Micro Gas Turvine Generator Medical Assistant Machiones pp.359-368)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

Y.Kawai, T.Ono, E.Meyer, C.Gerver, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Piezoelectric Actuator Integrated Cantilever with Tunable Spring Canstant for TOF-SFM pp.377-384)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

H.Xu, T.Ono, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Monolithic PZT Microstage with Multi-Degrees of Freedom for the Applications of Nanomachining pp. 601-612)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

M.Esashi (担当:共著, 範囲:Development of Novel Medical Engineering Using Micro-Nanomachining pp.223-234)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

J.-J.Chen, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Small Diameter Ultrasound Imager for Intraluminal Forward-Looking Inspection pp.301-310)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

K.-B.Min, S.Tanaka, M.Esashi (担当:共著, 範囲:MEMS-Based Fuel Cell For Portable Medical Applications pp.419-434)

Imperial College Press 2006年
Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology

A.Randles, S.Tanaka, M.Esashi (担当:共著, 範囲:Litium Niobate Bulk Micromachining for Medical Sensors pp.495-504)

Imperial College Press 2006年