論文

査読有り
2005年

Ferroelectric capacitor annealing process realizing highly reliable 1T1C FRAM

International Symposium on Integrated Ferroelectrics (ISIF) 2005
  • W. Wang
  • ,
  • J. Watanabe
  • ,
  • S. Mihara
  • ,
  • T. Eshita

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